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本文通过对比测试实验方法，研究了加速电压和工作距离对FESEM成像质量的影响规律。实验结果表明，扫描电镜的加速电压高低和工作距离大小与图像质量有明显关联，加速电压过高或过低都会对图像产生不利影响，而工作距离过大或过小也同样影响图像的清晰度。基于阿贝理论，分别探讨了加速电压和工作距离对扫描电镜图像质量的影响的物理本质。