PLD生长的ZnO薄膜的微结构及其发光特性研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：superrocli

【摘要】

：

在不同的衬底温度下，通过脉冲激光淀积（PLD）方法在Si衬底上生长出c轴高度取向的ZnO薄膜。ZnO薄膜的结构分别通过X射线衍射（XRD）和广延X射线吸收精细结构（EXAFS）来表征，而表面成份和化

【作者】

：

孙柏邹崇文刘忠良徐彭寿张国斌韦世强

【机构】

：

中国科学技术大学国家同步辐射实验室

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2006年6期

【关键词】

：

氧化锌脉冲激光淀积 X射线光电子能谱广延X射线吸收精细结构光致发光 Zinc Oxide Pulsed Laser Deposition X-ray

【基金项目】

：

国家自然科学基金（No.50532070）,高等学校博士点专项科研基金资助课题（No.20030358054）,中科院知识创新工程资助课题

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在不同的衬底温度下，通过脉冲激光淀积（PLD）方法在Si衬底上生长出c轴高度取向的ZnO薄膜。ZnO薄膜的结构分别通过X射线衍射（XRD）和广延X射线吸收精细结构（EXAFS）来表征，而表面成份和化学态则通过X射线光电子能谱来研究。利用光致发光（PL）来研究样品的发光特性。XRD结果和EXAFS结果都表明了500℃时生长的ZnO薄膜的结晶性比300℃时生长的要好。EXAFS结果和XPS结果显示，300℃时生长的ZnO薄膜处于富氧状态，而500℃时生长的则处于缺氧状态。结合XRD谱、EXAFS谱、XPS谱和

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