【摘 要】
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为了满足湍流探测高灵敏度、高分辨率的要求,提出了一种新型纤毛微电子机械系统(MEMS)湍流传感器.基于MEMS技术制作了硅十字梁敏感受力结构,通过橡胶探头的受力振动传递水中
【机 构】
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中北大学动态测试省部共建实验室,太原,030051
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为了满足湍流探测高灵敏度、高分辨率的要求,提出了一种新型纤毛微电子机械系统(MEMS)湍流传感器.基于MEMS技术制作了硅十字梁敏感受力结构,通过橡胶探头的受力振动传递水中的湍流信号,凭借传感器头部的导流罩来保证传感器的高分辨率探测.对MEMS湍流传感器进行理论和仿真分析,其一阶共振频率达到481.04 Hz.经过海洋环境模拟机测试实验,结果显示其在50 MPa压力下保持了完好的结构和良好的性能,验证了其水下的可靠性.在湍流实验平台进行测试,通过比较标定法得出其灵敏度为1.92×10-4 V· m· s/kg,满足海洋湍流测试要求.
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