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文章介绍了对真空规管和仪器进行校准的比对法,阐述了校准系统的结构、原理及校准方法;探讨了被校电离规在6种不同的气体中的校准效果及校准前后的差异,说明了气体歧视效应的存在和影响,得出了各气体的相对常数;结果表明,对真空规管及仪器进行校准是必要的.
比对法真空计校准系统的实验研究
【摘 要】
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文章介绍了对真空规管和仪器进行校准的比对法,阐述了校准系统的结构、原理及校准方法;探讨了被校电离规在6种不同的气体中的校准效果及校准前后的差异,说明了气体歧视效应的
【机 构】
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合肥工业大学,中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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合肥工业大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2005年12期
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