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多晶硅生产过程中既要补充大量氢气,又存在严重的氢气损耗问题。根据国内一些大型多晶硅生产企业实际生产情况,提出了采用膜分离和变压吸附的联合工艺,并对放空氢的回收和提纯进行研究,通过实验优化,得到了最优的工艺参数,为下一步放大设计提供了依据。
多晶硅生产过程中氢气回收和纯度提升的研究
【摘 要】
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多晶硅生产过程中既要补充大量氢气,又存在严重的氢气损耗问题。根据国内一些大型多晶硅生产企业实际生产情况,提出了采用膜分离和变压吸附的联合工艺,并对放空氢的回收和提
【机 构】
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新疆协鑫新能源材料科技有限公司
【出 处】
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山西化工
【发表日期】
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2020年6期
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