扫描镜精密伺服系统的数字控制研究

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针对扫描镜精密伺服系统,采用按照电流环,速度环和位置环等3个回路进行控制系统设计的开闭环复合控制方案。在位置环回路中,实现系统解耦控制,并以四点中心差分法和非线性积分算法改进传统的微分和积分运算,从而提出一种新型的数学控制器结构。
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