β-FeSi2／Si薄膜位向关系的计算

来源 :材料科学与工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：holight123

【摘要】

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利用从固态相变产生的沉淀相惯习面总结出的Δg平行法则,计算了β-FeSi2半导体薄膜和Si基体之间可能的择优取向关系.根据界面匹配和结构的分析,建议最优衬底基面的晶体学位向

【作者】

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朱玉满张文征叶飞

【机构】

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清华大学材料系

【出处】

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材料科学与工程学报

【发表日期】

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2003年5期

【关键词】

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β-FeSi2/Si薄膜位向关系计算固态相变半导体薄膜晶格取向 orientation relationship interface struct

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利用从固态相变产生的沉淀相惯习面总结出的Δg平行法则,计算了β-FeSi2半导体薄膜和Si基体之间可能的择优取向关系.根据界面匹配和结构的分析,建议最优衬底基面的晶体学位向.预测的界面是一个无理面,含有原子尺度台阶,晶格间具有良好匹配关系.以该界面位向作为Si衬底的基面有可能导致高质量金属硅化物β-FeSi2薄膜的生长.

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