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综述了透明导电氧化物（TCO）薄膜的结构、光电性能以及TCO薄膜制备技术的研究进展。ITO薄膜性能优异，是重要的平面显示器件用材料。掺铝ZnO薄膜价格低廉，是极具开发前景的ITO薄膜的替代材料。柔性村底氧化物半导体透明导电薄膜的开发和应用将扩大TCO薄膜的应用领域。
透明导电氧化物薄膜材料及其制备技术研究进展
【摘 要】
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综述了透明导电氧化物（TCO）薄膜的结构、光电性能以及TCO薄膜制备技术的研究进展。ITO薄膜性能优异，是重要的平面显示器件用材料。掺铝ZnO薄膜价格低廉，是极具开发前景的ITO薄膜
【机 构】
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武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2006年F11期
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