气体辅助法陶瓷薄膜的制备

来源 :材料与冶金学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:buzadi3
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Ceramics (alumina) coating on several materials has been successfully achieved at room temperature by gas - assisted deposition (GAD) technique. In the GAD process the alumina powder was accelerated by jet flow with velocity of ~ 1000 m/s and impacted to a substrate, thereby a flat and dense film was deposited up to 10 μm on the substrate without any additional heating. The crystal structure of the alumina in an obtained GAD films seemed as amorphous like. The crystalline phase was recovered by post annealing at 1 300 ℃, however, the matrix resulted in a hollow structure.
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