一种基于0.35μm CMOS工艺的单片集成微机械陀螺仪接口电路

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【摘要】

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本文介绍了一种用于读取角速度信号的单片集成微机械陀螺仪接口电路，该接口电路采用了相关双采样技术以抑制1/f噪声和运算跨导放大器的失调．为了方便系统仿真和测试，本文设计了

【作者】

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罗旭程冯军

【机构】

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东南大学射频与光电集成电路研究所

【出处】

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电子学报

【发表日期】

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2014年9期

【关键词】

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本文介绍了一种用于读取角速度信号的单片集成微机械陀螺仪接口电路，该接口电路采用了相关双采样技术以抑制1/f噪声和运算跨导放大器的失调．为了方便系统仿真和测试，本文设计了一种微机械陀螺仪的等效电路．该接口电路采用0.35μm CMOS工艺设计并制造，芯片总面积为1．09mm x0．87mm ．后仿真结果表明，该接口电路能达到0．58aF的电容分辨精度，动态范围达99．7dB ．测试结果表明，接口电路系统增益为26．6mV/fF ，在3．5V电源电压下系统总功耗为20．4mW ．

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