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用ＲＦ磁控放电方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气体中制备了ＴｉＯ２薄膜，Ｒａｍａｎ光谱测量表明，在２Ｐａ工作气压下制备的ＴｉＯ２薄膜为锐放结彩结构，而０．２Ｐ工作气压下制备的是金红石结构。工作气压的改变引起了ＴｉＯ２薄膜沉积中的相转变。
薄膜沉积过程中TiO2的金红石相向锐钛矿相转变
【摘 要】
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用ＲＦ磁控放电方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气体中制备了ＴｉＯ２薄膜，Ｒａｍａｎ光谱测量表明，在２Ｐａ工作气压下制备的ＴｉＯ２薄膜为锐放结彩结构，而０．２Ｐ工作气压下制备的是金红石结构。工作气压的改变引起了ＴｉＯ２薄膜
【机 构】
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吉林大学超硬材料国家重点实验室,吉林大学超分子结构与谱学开放实验室
【出 处】
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光散射学报
【发表日期】
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1999年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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