论文部分内容阅读
文章对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法,并研制出新型四探针测试样机.
微区电阻测试方法及新测试仪研制
【摘 要】
：
文章对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出
【机 构】
：
河北工业大学微电子研究所
【出 处】
：
微电子学与计算机
【发表日期】
：
2003年9期
【基金项目】
：
国家自然科学基金，河北省自然科学基金，天津市自然科学基金
其他文献
为做好编辑部的思想建设,分析了编辑部思想工作的特点.认为思想工作要有专人抓;领导与职工、职工与职工之间沟通与对话是思想工作的基础与前提;日常工作中必须反对'小广