【摘 要】
：
阐述腔体匹配（Chamber Matching, CM）是纳米尺度半导体工艺最为关键的挑战之一，随着特征尺寸的不断缩小，半导体工艺对细微误差变得越发敏感，对设备性能的一致性、稳定性提出了更高的要求。在量产Fab中，同一产品、工艺经过不同的腔体需获得一致的工艺结果，但由于刻蚀设备数量多，腔体数量大，腔体情况复杂，结果往往存在偏差。快速发现腔体状态变化，及时根因溯源，甚至提前预知腔体潜在问题对于半导体
【基金项目】
：
国家科技重大专题课题（2011ZX02702＿004）；
论文部分内容阅读
阐述腔体匹配（Chamber Matching, CM）是纳米尺度半导体工艺最为关键的挑战之一，随着特征尺寸的不断缩小，半导体工艺对细微误差变得越发敏感，对设备性能的一致性、稳定性提出了更高的要求。在量产Fab中，同一产品、工艺经过不同的腔体需获得一致的工艺结果，但由于刻蚀设备数量多，腔体数量大，腔体情况复杂，结果往往存在偏差。快速发现腔体状态变化，及时根因溯源，甚至提前预知腔体潜在问题对于半导体制造具有显著价值，传统FDC功能监控数据维度较少，分析方法单一，逐渐变得难以适应先进的工艺需求。提出了一套综合而有效的智能化分析方法，融合主成分分析（principle component analysis,PCA）和随机森林对传感器进行重要性排序，定位失配的工艺步骤（step）和问题传感器。针对设备数据特征维度大、干扰性强和冗余度高的特点，采用逐步回归，提炼高质量特征，改善模型的分类效果。最后通过与Fab工程师协同，更换部件，监控效果，完成对腔体问题的全周期监控，从而保证Fab生产高效稳定地进行。
其他文献
中等收入陷阱本质是一国经济增长与人口增长几乎同步，即人均国民收入没有实质性增长。根据其成因，可将中等收入陷阱分为动力不足型、需求不足型、人口政策型和封闭型4种类型。跨越中等收入陷阱必须使收入增长速度快于人口增长速度，生产力发展经历着一个从量变到质变的过程。中等收入陷阱与乡村振兴存在互动影响的辩证关系：中等收入陷阱会引发农村劳动力大量转移、农村劳动力受教育动力不足、农村产业发展受阻、城乡收入差距缩小
慢性阻塞性肺疾病由于其患病人数多、病死率高、社会经济负担重，已成为一个全球性的公共卫生问题，由慢性阻塞性肺疾病导致的肺动脉高压、肺源性心脏病、心力衰竭等严重威胁患者生命健康及生活质量。若能及时防治，并有效控制病情、减缓疾病进展，可提高生活质量。现就慢性阻塞性肺疾病相关肺动脉高压的发病机制、临床表现、诊断及治疗等做一综述。
考察拉美与美国发展差异的历史根源，有助于理解“中等收入陷阱”的形成机理。拉美与美国发展差异的原因可以追溯到殖民地时期的土地所有制。拉美严重不平等的大地产制难以为工业品提供足够的市场，不利于吸引欧洲移民及培育民主精神，难以加强各地的经济贸易联系。美国北部较平等的小土地所有制有利于吸引欧洲移民并有助于民主精神的培育，为工业发展提供了广阔的市场，加强了各地的经济贸易联系，培育了制衡南方种植园主的新阶级力
城市绿地作为城市生态系统中一个极为重要的子系统，在城市建设中扮演着越来越重要的角色，所以掌握城市绿地的基本特性及类型是非常必要的。为此，应当注重利用高分辨率遥感技术来支持城市绿地信息提取，文章将结合具体的案例来分析和探讨基于高分辨率遥感影像的城市绿地信息提取方法。
目的：通过UPLC-Q-TOF-MS技术检测在传统煎煮方法下参附汤的主要溶出成分，并结合网络药理学探究参附汤治疗慢性心力衰竭的作用靶点及机制。方法：采用UPLC-Q-TOF-MS技术对参附汤的主要溶出成分进行定性分析，并运用SwissTargetPrediction、PharmMapper数据库获得主要成分靶点；通过GeneCards、OMIM、DrugBank数据库收集慢性心力衰竭的相关治疗靶点
随着内镜及其相关技术的发展，内镜黏膜下剥离术（ESD）现已成为治疗食管早癌的重要手段，可将大面积食管病变完整剥离。术后狭窄是ESD的重要并发症，对术后狭窄的预防仍是世界难题。目前国内外学者已提出多种方案预防ESD术后食管狭窄，包括机械预防、药物预防、组织屏蔽、组织工程和组织移植预防等，经研究，多种方法的单用、联用均能起到一定程度的预防术后狭窄的作用，但目前仍未有国际公认的标准预防方案。
对四组不同盐度活性污泥测定混合液上清液、SMP、LB-EPS、TB-EPS的蛋白质、多糖和DNA含量。高盐下混合液上清液中存在大量大分子蛋白质。含盐污泥EPS的提取需要考虑混合液中的成分。比较5种TB-EPS的提取方法（离心法、超声法、加热法、甲醛法、甲醛+NaOH法）,甲醛+NaOH法在高盐环境下仍有最高的提取总量。利用平行因子法分析不同提取方法提取TB-EPS的三维荧光光谱。结果表明，甲醛法和
英雄史观因其自身的缺陷不能够适应社会发展。工人创造一切、历史活动是群众的事业、工人阶级自己解放自己等群众史观思想在《神圣家族》里得到了更好的诠释。同时它也阐发了唯物主义群众史观的一系列基本观点，科学地解决了群众在创造历史过程中的地位以及群众创造历史的途径和动力等问题。该书是马克思恩格斯自觉运用其哲学基本原理进行逻辑分析的结果。这些认识对于今天科学分析人民群众创造历史的重要作用以及贯彻以人民为中心的
本文对小学语文群文阅读教学策略进行研究，首先分析了小学语文群文阅读教学的作用，之后分析了应用原则，并提出了应用策略，包括整合信息，建立认知；逐层递进，强化学生的能力；重视应用，巩固内化；以素材为核心，指导学生从不同的角度理解文章等，希望可以为有关人员提供参考。
采用基本政策工具与教师队伍建设要素构建二维分析框架，对2010—2021年我国涉及托育教师队伍建设的政策文本进行整理、编码和分析。结果发现，我国托育教师队伍建设政策呈现阶段式发展特征；政策工具选择趋向多元化，但命令性工具过溢；政策形式强制力偏弱，法制化不足；国家与地方政府政策一致性较高，缺乏责任明确性与内容互补性；建设内容趋于多样化，但仍不够全面。据此提出，优化政策工具使用结构，加强整合性与系统性