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本文对PECVD制备的红外热敏材料掺磷非晶硅薄膜的两个关键热电参数-红外吸收系数和电阻温度系数-采用红外透射谱、拉曼谱和电阻率测量进行了深入的研究。实验结果表明，对样品进行退火30min后，薄膜结构可以达到稳定；随着退火温度的增加，样品的红外透射率下降；当退火温度达到700℃时，薄膜完全晶化；与此同时，电阻率和电阻温度系数随掺杂浓度和退火温度的增加而减小。根据Lu的模型，对这些现象进行了解释并给出了制备和退火的优化条件。