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利用CoventorWare软件的微机械陀螺仪谐振器系统模型,对其主要参数进行了优化设计,采用交流小信号分析的方法,使驱动模态和检测模态的频率相匹配,提高了陀螺仪的性能,降低了交叉耦合的误差。
微机械梳状陀螺仪主要参数优化设计分析
【摘 要】
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利用CoventorWare软件的微机械陀螺仪谐振器系统模型,对其主要参数进行了优化设计,采用交流小信号分析的方法,使驱动模态和检测模态的频率相匹配,提高了陀螺仪的性能,降低了
【机 构】
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沈阳理工大学CAD／CAM技术研究与开发中心
【出 处】
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机床与液压
【发表日期】
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2008年8期
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