反应堆快中子辐照硅的深能级及退火分析

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利用反应堆快中子辐照控制电力半导体器件的少子寿命,器件电特性优于现有的扩金、扩铂、电子辐照和Co60-γ辐照等少子寿命控制技术.介绍了反应堆快中子辐照场特性及其在N型NTD硅中产生的深能级位置及退火特性,论证了主要复合能级应是Ec-0.44eV能级,同时论证了其他次要能级对改善元件通态压降的重要性.
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