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传统的曝光技术等平面工艺通常只能获得边缘陡峭的平面结构。通过多层曝光、灰度曝光、聚焦离子束加工等方法可以实现高度渐变的准三维结构的构造,却往往难以获得良好的光滑度。本文结合电子束曝光技术、PMMA结构平滑技术、模板剥离技术,实现了多种多样的渐变结构的构造。这种技术具有构造方法简单、表面粗糙度小、可自由定位等众多优点。