镀膜温度对WO3薄膜的电色性能影响

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采用直流反应磁控溅射设备制备WO3薄膜,对一组温度在47~400℃范围制成的WO3薄膜进行恒电流的电化学循环试验;利用紫外-可见-近红外分光光度计测试WO3薄膜的电色性能.结果表明,染色后WO3薄膜的光学吸收,以及染色效率在波长为l 000~2 500 nm的范围内,温度400℃以下,随镀膜温度的升高而提高.分析认为,由于薄膜在300℃开始进入结晶态,350℃以上结晶化程度增加,从而在高温范围(350~400℃),光学与电化学特性上的改变是由于薄膜的结晶度的增加而导致的.在本实验中,注入电量为10mC/cm2,可使光学可控量在太阳光谱范围内保持相当稳定,而这种可控量已经能够很好地满足电色应用的需求.本研究为在太阳光谱范围内更有效地利用WO3薄膜的电色性能提供实验依据.
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