【摘 要】
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为了提高功率肖特基整流管的反向击穿电压、抗浪涌能力,采取加场限环的方法从有源区参数、外延材料、流片工艺、产品电参数、可靠性等方面进行全面设计,制造了一种新型结势垒
【机 构】
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兰州交通大学电子与信息工程学院,甘肃省科学院传感技术研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61366006);甘肃省科技支撑计划项目(1304GKCA012)
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为了提高功率肖特基整流管的反向击穿电压、抗浪涌能力,采取加场限环的方法从有源区参数、外延材料、流片工艺、产品电参数、可靠性等方面进行全面设计,制造了一种新型结势垒肖特基整流管JBS(Junction Barrier Schottky Rectifier)。经测试,器件的电参数水平正向电压VF为0.85 V~0.856 V,反向电流IR为4.0μA~50.5μA,反向电压VR为307.5 V~465.2 V,抗静电水平从低温退火的6 k V~12 k V提高到15 k V。经高温直流老化测试,器件的可靠性达到了预期的设计要求。
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