【摘 要】
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近年来,随着微光机电系统（MOEMS）技术的快速发展,光谱仪朝着微型化、低成本、高性能方向发展。基于MOEMS技术制作的闪耀光栅可集成于扫描微镜,其作为近红外光谱仪的核心部件,可
【机 构】
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重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆大学微系统研究中心
【基金项目】
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supported by the Special Funds of the National Natural Science Foundation of China（f1327002）
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近年来,随着微光机电系统（MOEMS）技术的快速发展,光谱仪朝着微型化、低成本、高性能方向发展。基于MOEMS技术制作的闪耀光栅可集成于扫描微镜,其作为近红外光谱仪的核心部件,可实现单管探测器代替昂贵的阵列式探测器,以降低近红外光谱仪成本与体积。设计了一种高性能扫描光栅微镜,以提高光谱仪的探测灵敏度。扫描微镜表面集成高衍射效率光栅,背面制作电磁驱动线圈。采用光学软件与有限元方法对器件参数进行优化。仿真结果表明：扫描光栅微镜谐振频率为484.38Hz,最大扭转角度为±4.55°,在800
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