PZT铁电薄膜的低温原位生长

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ioljok1988
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在溅射法预制备的LaNiO3/Si基片上,用射频溅射法在较低的衬底温度(235-310℃)和纯Ar气氛中原位生长Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜.通过优化溅射功率、基片温度等工艺,最后在260℃的较低基片温度上成功制备出具有良好铁电性的PZT薄膜.使用X射线衍射(XRD)测试样品的结构,原子力显微镜观察其表面形貌,TD-88A标准铁电测试系统测试样品(Ag/PZT/LNO结构)的铁电性能.结果表明:(1)溅射功率110W,基片温度260℃时,原位沉积的PZT呈(111)、(200)取向;
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