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用于超精表面分析的宽范围扫描隧道显微镜
用于超精表面分析的宽范围扫描隧道显微镜
来源 :制造技术与机床 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a394665234
【摘 要】
:
本文描述了一种能检测超精密度表面纳米级超微观形貌的扫描隧道显微镜,该装置可测到高定向石墨表面原子图象和精密光栅,金刚石切削表面和精密磨削表面的纳米级形貌。
【作 者】
:
张鸿海
师汉民
【机 构】
:
华中理工大学
【出 处】
:
制造技术与机床
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
超精密加工
纳米形貌
STM
特种加工
Ultra-precision Machining
nm topography
Scanning Tunnel Micr
【基金项目】
:
国家自然基金
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本文描述了一种能检测超精密度表面纳米级超微观形貌的扫描隧道显微镜,该装置可测到高定向石墨表面原子图象和精密光栅,金刚石切削表面和精密磨削表面的纳米级形貌。
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