【摘 要】
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报道了一种新型温敏和湿敏元件共享一块陶瓷衬底的传感器结构，温度传感器采用半导体氧化物 Ｎ Ｔ Ｃ 材料的厚膜结构，湿度传感器采用高分子电阻型结构，从而实现了温湿一体化。这种传感
【机 构】
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吉林大学电子工程系!长春130023,沈阳工业仪器仪表研究所,吉林大学电子工程系!长春130023,吉林大学电子工程系!长春130023
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报道了一种新型温敏和湿敏元件共享一块陶瓷衬底的传感器结构，温度传感器采用半导体氧化物 Ｎ Ｔ Ｃ 材料的厚膜结构，湿度传感器采用高分子电阻型结构，从而实现了温湿一体化。这种传感器不但给温度和湿度的同时测量带来方便，而且使得湿敏元件的温度补偿更为准确，并且具有体积小、价格廉、易于集成、使用方便等特点。
A new type of sensor structure is proposed, in which a new type of thermistor and humidity sensor share a piece of ceramic substrate. The temperature sensor adopts the thick film structure of semiconductor oxide N T C, and the humidity sensor adopts the polymer resistance type structure to achieve the integration of temperature and moisture . This sensor not only brings convenience to the simultaneous measurement of temperature and humidity, but also makes the temperature compensation of the humidity sensor more accurate, and has the characteristics of small size, low price, easy integration and convenient use.
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