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对半导体器件模拟软件系统的构造进行了全面系统的分析，对所涉及到的关键问题进行了深入讨论，研究了适合于深亚微米半导体器件的流体动力学模型的物理实质，相互关系用选取原则，总结了非线性偏微分方程组系统的离散技术，提出了可行的迭代求解逄法与方法，完成了面向对象的模拟软件结构分析与系统设计，初步探讨了基于ＣＯＲＢＡ平台下并行计算方案的实验及其有效性。