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显微栅线投影法用于微镜转角测量
显微栅线投影法用于微镜转角测量
来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fa239831983fa
【摘 要】
:
采用显微栅线投影法结合相移技术测量了微镜在不同驱动电压下的转角,并同理论值进行了比较,平均误差为4.5%,结果表明:测量值和理论值比较吻合.
【作 者】
:
康新
董萼良
何小元
【机 构】
:
南京理工大学理学院力学与工程科学系,东南大学土木工程学院工程力学系
【出 处】
:
光子学报
【发表日期】
:
2004年12期
【关键词】
:
微镜
驱动电压
转角
栅线投影法
Micro-mirror
Pull-in voltage
Rotation angle
Fringe projectio
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采用显微栅线投影法结合相移技术测量了微镜在不同驱动电压下的转角,并同理论值进行了比较,平均误差为4.5%,结果表明:测量值和理论值比较吻合.
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