【摘 要】
：
叙述具有同轴对准特性的光学投影物镜双远心结构和均匀照明光学系统原理。为了满足ｉ线光刻所需的光学传递函数要求，讨论了光刻分辨率和数值孔径的关系。设计了一种新的双远心投
论文部分内容阅读
叙述具有同轴对准特性的光学投影物镜双远心结构和均匀照明光学系统原理。为了满足ｉ线光刻所需的光学传递函数要求，讨论了光刻分辨率和数值孔径的关系。设计了一种新的双远心投影物镜，其数值孔径ＮＡ＝０．４２，放大倍率Ｍ＝－１／５，像场尺寸１５ｍｍ×１５ｍｍ（直径２１·２ｍｍ），共轭距Ｌ＝６０２ｍｍ。用光学设计程序ＺＥＭＡＸ－ＸＥ计算此ｉ线物镜的像质。设计结果说明，整个视场内波差＜λ／４，ＭＴＦ＞０．５５，当空间频率为７１５ｐａｉｒｌｉｎｅｓ／ｍｍ，使用波长为３６５士３ｎｍ时。可以实现０．７μｍ光刻分辨率；照明均匀器，由８１个小方型透镜组成一方列阵。用本文模拟计算软件ＯＰＥＮＧ计算被照像平面上的光能分布，说明实际系统的照明不均匀性为土２％。
其他文献
港口的建设对于国民经济的发展具有重要意义,同时港口的建设是一项大投资、大工程量的项目,必须对其进行详细的规划设计一步一步进行方可节省投资、建设满足要求的港口。
我国现代农业发展亟待实现创新驱动和内生增长,现代农业科技创新体系是实现我国农业现代化和农业经济持续增长的重要战略支撑,它既具有公共性、社会性、多元性、系统性及开放
近年来,农业经济的飞速发展,对水利基础设施提出了较高的要求,农田水利渠道建设情况很不乐观,一些年久失修、设计布置不合理的传统水利渠道仍然占了我国农田水利渠道的绝大多
在研究新疆绿洲生态环境及农业发展相关特征基础上,分析了新疆绿洲生态农业可持续发展的主要制约因素,根据制约因素,提出了绿洲生态农业可持续发展的主要措施。
随着社会的不断发展,人民的生活水平得到了极大的提高,而这背后,电力企业起着重要作用,自第二次工业革命以来,电力的作用愈加重要,其应用范围几乎涵盖了社会各领域。在电力企
目的:研究G蛋白偶联受体(GPCRs)在人类肿瘤细胞中的表达,以及与人类恶性肿瘤发生发展的关系。方法:检索中国知识资源总库CNKI系列数据库、西文生物医学期刊数据库和PubMed数
昆仑文化与西王母神话学术论坛是促进中国神话研究的契机,将加深世界对东方文明的认同。昆仑文化是中华文化的根母,中华文化的产生、发展来源于昆仑文化。王母神话是中国神话
电力能源目前来说对当今社会的发展与进步具有着极其重要的价值与意义,如何将配电线路的设计和施工管理做好,这对我国的电力事业快速地发展拥有着非常重要的价值与意义。本文
[目的]探讨颅内肿瘤放疗采用热塑面膜体位固定时用Integra BiteTM口含器增加口腔固定点的意义。[方法]选取2016~2017年收治的40例颅内肿瘤患者,采用常规热塑面膜体位固定20例
<正> 一、我国财政投融资现状分析 1.对财政投融资的性质、作用认识不统一,财政投融资工作进展缓慢。 财政投融资到底应该属于何种性质,这种经济活动应该由谁主管的问题,在财