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电子显微镜的现状及其发展趋势
电子显微镜的现状及其发展趋势
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:linqaz
【摘 要】
:
本文叙述了透射电子显微镜(TEM)扫描电子显微镜(SEM)及X射线能谱仪(EDS)等目前的现状及其发展趋势。
【作 者】
:
梁显鉴
【机 构】
:
华南师范大学
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
1989年02期
【关键词】
:
扫描电子显微镜
加速电压
无标样
扫描电镜
EDS
样品室
分辨率
场发射电子枪
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本文叙述了透射电子显微镜(TEM)扫描电子显微镜(SEM)及X射线能谱仪(EDS)等目前的现状及其发展趋势。
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