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介绍了微电子机械系统中的关键执行部件——超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、超声波微电机等.分析了原理、分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了微电子机械系统中微电机的发展趋势.
微电子机械系统中的超微电机
【摘 要】
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介绍了微电子机械系统中的关键执行部件——超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、超声波微电机等.分析了原理、分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了
【机 构】
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信息产业部电子第二十一研究所
【出 处】
：
电子元件与材料
【发表日期】
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2003年12期
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