论文部分内容阅读
概述了传统还原铅硅酸盐玻璃微通道板（RLSG-MCP）及其特点以及MCP的新发展；介绍了材料的二次发射特性，给出了传统MCP薄膜连续打拿极结构特点和形成工艺。在此基础上，重点论述了用半导体工艺技术制作新一代二维电子倍增器——先进技术微通道板（AT-MCP）的薄膜连续打拿极制备新技术，给出了具体工艺和实验结果。示出了电镜照片和实验曲线，指出了新工艺的优点和发展前景。