【摘 要】
：
RF-MEMS器件的出现,适应了现代光刻技术和硅IC技术、无线通讯技术的发展的需要,因此很快引起学术界和工业的巨大的重视。可以预言,RF-MEMS器件将很快从实验室走向生产实际,在
【机 构】
：
清华大学微电子学研究所,清华大学微电子学研究所
论文部分内容阅读
RF-MEMS器件的出现,适应了现代光刻技术和硅IC技术、无线通讯技术的发展的需要,因此很快引起学术界和工业的巨大的重视。可以预言,RF-MEMS器件将很快从实验室走向生产实际,在国民经济的各个方面包括通讯、航天航空技术、交通技术、生物医学领域以及国防工业中发挥重要作用。
The emergence of RF-MEMS devices, to adapt to the modern lithography and silicon IC technology, the development of wireless communications technology needs, and soon attracted great academic and industrial attention. It can be predicted that RF-MEMS devices will soon move from laboratory to production reality and play an important role in all aspects of the national economy, including telecommunications, aerospace technology, transportation technology, biomedicine, and defense industries.
其他文献
近年来,关于药物不良反应(ADR)的报道和讨论比较多,如何安全、有效、合理地用药已成为社会关注的热点。在我国,据有关部门统计,药物不良反应在住院患者中的发生率约为20%,其
对低FT3低皮质醇导致麻醉后低氧血症1例分析如下.rn1 病历摘要rn男,58岁,100 kg.因体检发现鞍区占位于2009-03-19入院.既往体健,否认高血压,糖尿病病史.入院常规术前检查:血
目的总结医院感染发生的情况,为进一步做好医院感染工作提供经验。方法对2007-2009年住院患者的医院感染情况进行前瞻性监测和回顾性调查。结果 3 a发生医院感染率分别为4.95
在1980至1990年代,提供FPGA数万逻辑门的FPGA器件主要被系统设计人员用作“连接逻辑”,将电路板上的不同元器件连接到一起,或用来修正ASIC不方便处理的问题.但在1990年代末期
护理管理是医院管理的重要组成部分,它的成败直接影响着护理质量.护理管理是一种行为过程,是护理管理者为了实现管理目标,采用一定的组织形式和方法,指挥、协调和控制被管理
电子自旋的奇异性质正在为存储器行业带来一场革命。如果自旋也可应用于逻辑电路.那么电子学(electronics)将会成为“自旋电子学(spintronics)”。——Glenn Zorpette
The s
秋季, 对于在田间地头忙活了一年的人们来说是一年中最幸福的时刻.同样,对于中国水稻研究所副研究员张玉屏而言,9月不仅仅是迈入实验田最舒适的季节, 也是收获科研硕果的时机
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
对胫骨富于细胞型促结缔组织增生性纤维瘤1例分析如下。1病历摘要男,30岁。因下楼梯时跌伤致右腿疼痛伴活动功能受限6个月余入院。外科检查:右腿下段无明显肿胀,有叩压痛,右
我院自1996～2007年采用HA-DA方案加维甲酸治疗急性非淋巴细胞白血病(急非淋)58例,取得较好效果,现总结如下。1资料与方法1.1一般资料58例急非淋均系初治,并符合白血病诊断标准