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采用磁控溅射法生长了掺Er SiN薄膜,在高温退火后测试了薄膜的光致荧光谱。薄膜在可见光区域以及红外光区域都表现出了很强的光致发光,观察到了Er离子各高能级到基态的跃迁。对样品进行了RBS等物性分析,给出了薄膜的元素组成,并对Er离子的跃迁发光机制进行了讨论。
磁控溅射掺Er SiN薄膜的光致荧光谱
【摘 要】
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采用磁控溅射法生长了掺Er SiN薄膜,在高温退火后测试了薄膜的光致荧光谱。薄膜在可见光区域以及红外光区域都表现出了很强的光致发光,观察到了Er离子各高能级到基态的跃迁。
【机 构】
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中科院半导体研究所光电集成实验室,华侨大学信息科学与工程学院
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2008年S1期
【基金项目】
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国家自然科学基金(60336010),国家“973”重点基础研究(2007CB13404)
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