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采用真空镀膜技术制备了TiO2:MgF2薄膜湿敏元件,仔细研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.结果表明:工作频率为100Hz时,该元件在全湿度范围内具有良好的阻抗-湿度特性,感湿特性曲线线性良好;元件具有灵敏度高,滞后小,响应快,长期稳定性好等优点.
TiO2:MgF2薄膜的湿敏特性
【摘 要】
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采用真空镀膜技术制备了TiO2:MgF2薄膜湿敏元件,仔细研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.结果表明:工作频率为100Hz时,该元件在全湿度范围内具有良好的阻抗-湿度特性,感湿特性曲线
【出 处】
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山东科技大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2003年z1期
【基金项目】
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国家自然科学基金(20273014),福建省教育厅重点项目(JAO21138)
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