【摘 要】
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A model of novel triangular electrode metal-semiconductor-metal (TEMSM) and conventional electrode metal- semiconductor-metal (CEMSM) detectors is established b
【机 构】
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Key Laboratory of Ministry of Education for Wide Band-Gap Semiconductor Materials and Devices, Schoo
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A model of novel triangular electrode metal-semiconductor-metal (TEMSM) and conventional electrode metal- semiconductor-metal (CEMSM) detectors is established by utilizing the ISE-TCAD simulator.By comparing the simulated results of TEMSM and CEMSM with experimental data, the model validity is verified and the TEMSM detector shows a superiority of a 113% photocurrent increase of 25.4 nA and similar low dark current of 3.16 pA at 30 V bias over the CEMSM device.Furthermore, the electrode angle α, width W and spacing S are optimized to obtain the enhanced device features including high UV-to-visible rejection ratio and large responsivity, etc.Under 30 V bias, the maximum UV-to-visible rejection ratio, comparable responsivity and exteal quantum efficiency at 31 0nto are 13049, 0.1712A/Wand 68.48% for a TEMSM detector with device parameters of α= 60°, W=3μm and S = 4 μm, respectively.
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