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使用交流阻抗方法研究了缓蚀剂阳极脱附对电化学阻抗谱及电化学界面参数的影响。在脱附电位附近，缓蚀剂阳极脱附使铁阳极过程阻抗响应中产生一附加感抗。界面电容在外加电位低于脱附电位时保持不变，达到脱附电位后迅速增加。电荷迁移电阻随电位正移逐渐降低，达到脱附电位后降至很小数值并减缓变化。弥散效应系数则随电位正移大体线性增加，与脱附电位无明显相关性。依据缓蚀剂在脱附电位Ｅｄｅｓ附近发生阳极脱附讨论了上述实验结