【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法制备NiZn铁氧体薄膜,研究了溶胶配制、甩胶及退火工艺对NiZn铁氧体薄膜性能的影响,系统研究了制备工艺和退火工艺。结果表明,不同的膜厚,改变了样品内的残余
【机 构】
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中国电子科技集团公司第三十三研究所,电磁防护材料及技术山西省重点实验室
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采用溶胶-凝胶法制备NiZn铁氧体薄膜,研究了溶胶配制、甩胶及退火工艺对NiZn铁氧体薄膜性能的影响,系统研究了制备工艺和退火工艺。结果表明,不同的膜厚,改变了样品内的残余应力;在退火工艺上,升温速率直接影响成核数量,退火温度和保温时间决定薄膜的结晶程度和附着力的大小。通过对溶胶-凝胶法制备NiZn铁氧体薄膜技术的研究及工艺优化,得到合理的退火处理工艺为：以2.5℃/min的升温速率升到700℃,保温40 min后随炉自然冷却到室温。同时研究了NiZn铁氧体薄膜的可见光透过和微波损耗特性。
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