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本文确定了用聚酰亚胺涂料作为硅晶片钝化保护材料或绝缘介质材料的使用条件,重点研究了聚酰亚胺涂料在施工过程中粘合性能、成环固化性能和热稳定性所发生的变化。研究结果表明,氨基硅烷是一种有效的粘合促进剂。借助于傅立叶转换红外光谱仪的时间衰减扫描技术,测得了聚酰亚胺涂料的酰亚胺化速率。
微电子器件用聚酰亚胺涂料
【摘 要】
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本文确定了用聚酰亚胺涂料作为硅晶片钝化保护材料或绝缘介质材料的使用条件,重点研究了聚酰亚胺涂料在施工过程中粘合性能、成环固化性能和热稳定性所发生的变化。研究结果
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1986年05期
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