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多结太阳电池用P型锗单晶片去蜡技术研究
多结太阳电池用P型锗单晶片去蜡技术研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zjlsxz
【摘 要】
:
在多结太阳电池结构中,P型锗单晶片不仅作为衬底,也是整体电池结构中的一个结。在外延生长过程中,需要进行多次异质外延生长,因此,对P型锗单晶片的表面质量提出了更高的要求
【作 者】
:
杨洪星
张伟才
陈亚楠
王斌
张春翔
刘春香
赵权
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2011年7期
【关键词】
:
锗
清洗技术
去蜡技术
多结太阳电池
Germanium
Cleaning technology
Dewaxing technology
Multi-ju
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在多结太阳电池结构中,P型锗单晶片不仅作为衬底,也是整体电池结构中的一个结。在外延生长过程中,需要进行多次异质外延生长,因此,对P型锗单晶片的表面质量提出了更高的要求。通过对P型锗片去蜡技术的研究,提高了锗片表面质量,降低了外延生长过程中雾缺陷的比例。
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