【摘 要】
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评述了制备二氧化钛薄膜的液相法、气相法和电化学法3大类方法的优缺点,以及3大类方法所包含的溶胶-凝胶、微乳液、磁控溅射、物理气相沉积、化学气相沉积、阳极氧化和微弧氧
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评述了制备二氧化钛薄膜的液相法、气相法和电化学法3大类方法的优缺点,以及3大类方法所包含的溶胶-凝胶、微乳液、磁控溅射、物理气相沉积、化学气相沉积、阳极氧化和微弧氧化等方法制备二氧化钛薄膜的工艺步骤、特点及研究进展。文章最后指出,液相法由于自身存在的优点,仍将是今后二氧化钛薄膜制备和研究的重点;而光催化性能更好的掺杂二氧化钛,其研究重点是探讨掺杂方式、制备方法和优化配比等。
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