磁控溅射镀CrAlSiN涂层的抗高温水蒸气氧化性能

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目的提高锆合金包壳管的事故容错能力。方法采用磁控溅射法,在锆基底上沉积CrAlSi和CrAlSiN两种涂层,表征了涂层的结构形貌、机械性能和抗高温水蒸气氧化行为等。结果CrAlSi涂层呈致密的柱状晶结构。CrAlSiN涂层结构致密,晶粒尺寸小,接近非晶质地。CrAlSiN涂层与Zr基底之间的结合力(~46 N)高于CrAlSi涂层与Zr基底之间的结合力(~27 N),2种涂层的硬度大约为Zr基底硬度的3~4倍,表现出良好的机械性能。同时,这2种涂层均较大幅度提高Zr基底的抗高温水蒸气氧化能力。经1000℃
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