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采用二维时域有限差分（２Ｄ－ＦＤＴＤ）法精确计算了高速集成电路芯片内互连线的频变等效电路参数，有耗吸收边界条件和非均匀渐变网络技术的提出和应用减少了空间网格的数目，用时间序列预测的方法来预测时域信号或提取传输参数大大减少了ＦＤＴＤ模拟时间，明显提高了计算效率，传输线特性的计算考虑了导体和硅基片损耗，计算结果与其他方法测量结果比较，一致性较好。