【摘 要】
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本文介绍了硝酸盐水溶液的化学液相喷涂法制备超导薄膜的工艺过程,对工艺参数的选择进行了研究。得到了T_c=84.8K的超导薄膜,X-射线衍射分析表明,薄膜具有良好的单相性,C-轴
【机 构】
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机电工业部十二研究所,机电工业部十二研究所,机电工业部十二研究所,机电工业部十二研究所,
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本文介绍了硝酸盐水溶液的化学液相喷涂法制备超导薄膜的工艺过程,对工艺参数的选择进行了研究。得到了T_c=84.8K的超导薄膜,X-射线衍射分析表明,薄膜具有良好的单相性,C-轴织构明显,工艺的重复性和薄膜性能的稳定性都较好。
In this paper, the process of chemical liquid spraying of nitrate aqueous solution to prepare superconducting thin films is introduced. The choice of process parameters is also studied. The superconducting film with T_c = 84.8K was obtained. X-ray diffraction analysis showed that the film has good single phase, obvious C-axis texture, good process repeatability and good film properties.
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