【摘 要】
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亚微米(i线和g线)投影光刻物镜中国科学院光电技术研究所根据所承担的中国科学院“八·五”重大科研项目“微电子专用装备技术研究”和国家“八·五”科技攻关项目“0.8~1微米分步重复
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亚微米(i线和g线)投影光刻物镜中国科学院光电技术研究所根据所承担的中国科学院“八·五”重大科研项目“微电子专用装备技术研究”和国家“八·五”科技攻关项目“0.8~1微米分步重复投影光刻机研制”专题,研究成i线和g线两种投影光刻物镜。作为单元成果已应...
Submicron (i-line and g-line) Projection Lithography Objectives Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences According to the “August 5” major research project of the Chinese Academy of Sciences, “Research on Microelectronics Special Equipment Technology” and the national “8.5” scientific and technological project Project “0.8 ~ 1 micron step-by-step projection lithography development” topic, into i-line and g-line two projection lithography objective lens. As a unit of results has been ...
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In this paper, the phase-shift technique is applied
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光阴易逝,不知不觉间我已到了“夕阳红”年岁。老来别无所好,惟有垂钓。日出而去,日暮而归,在南方多变的气候里,垂钓在鱼情复杂的水库旁,吃过不少的亏和苦,也饱尝过无限乐趣。和鱼儿
1998年12月26日,无锡市钓协召开的年终“钓鱼大”’‘鱼拓制作”和“先进基层钓协”评比会议上传出喜讯,获得“钓鱼大”第一名的是马山区钓协会员郑风制,他钓到的一条重24.3千克