【摘 要】
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分辨率是显微镜最重要性能指标之一。作为表面形态观察的扫描电镜,长期以来人们所追求目标之一是如何使它的图象分辨率达到透射电镜分辨率的相当水平。本文是从扫描电镜的成
【机 构】
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冶金部钢铁研究总院,冶金部钢铁研究总院,
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分辨率是显微镜最重要性能指标之一。作为表面形态观察的扫描电镜,长期以来人们所追求目标之一是如何使它的图象分辨率达到透射电镜分辨率的相当水平。本文是从扫描电镜的成象原理出发,分析了各种影响二次电子象分辨率的因素,并考虑了统计涨落噪音的影响,推导得如下基本关系:
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