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期刊论文
全光通信用MEMS光开关
全光通信用MEMS光开关
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nofengy
【摘 要】
:
在简要介绍了硅微机械加工技术的基础上,详细介绍了微透镜和微反射镜两种MEMS光开关的结构和工作原理。从发展和实用的角度对典型的波导调制型MZI光开关和MEMS光开关的特性进
【作 者】
:
李向东
李福果
龙再川
王海卿
【机 构】
:
重庆光电技术研究所
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
光纤通信
微电子机械系统
光开关
光交叉互连
光耦合
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在简要介绍了硅微机械加工技术的基础上,详细介绍了微透镜和微反射镜两种MEMS光开关的结构和工作原理。从发展和实用的角度对典型的波导调制型MZI光开关和MEMS光开关的特性进行了比较, 展望了MEMS光开关在未来全光通信中的应用前景。
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