全光通信用MEMS光开关

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在简要介绍了硅微机械加工技术的基础上,详细介绍了微透镜和微反射镜两种MEMS光开关的结构和工作原理。从发展和实用的角度对典型的波导调制型MZI光开关和MEMS光开关的特性进行了比较, 展望了MEMS光开关在未来全光通信中的应用前景。
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