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介绍超精密加工及其应用背景，发展动向，以及超精密加工关键技术的一些最新成果，从超精密加工技术推广应用的角度阐述其模块化，廉价化发展趋势，同时就如何发展诸如模块化部件，执行系统，测量控制和环境控制等超精密加工关键技术提出一些新的观点和方法。
超精密加工技术的发展及对策
【摘 要】
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介绍超精密加工及其应用背景，发展动向，以及超精密加工关键技术的一些最新成果，从超精密加工技术推广应用的角度阐述其模块化，廉价化发展趋势，同时就如何发展诸如模块化部件，执行系
【机 构】
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国防科学技术大学
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2000年8期
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