【摘 要】
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探针磨损是影响原子力显微镜图像质量的关键因素之一。为了研究原子力显微镜(AFM)探针针尖磨损问题,选取超平表面(Rq<0.5nm)作为测试样品,采用材料表面的粗糙度(Rq)评估探针
【机 构】
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哈尔滨工业大学（深圳）实验与创新实践教育中心,哈尔滨工业大学（深圳）材料科学与工程学院
【基金项目】
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哈尔滨工业大学(深圳)课程建设资助项目(HITSZUCP18020)
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探针磨损是影响原子力显微镜图像质量的关键因素之一。为了研究原子力显微镜(AFM)探针针尖磨损问题,选取超平表面(Rq<0.5nm)作为测试样品,采用材料表面的粗糙度(Rq)评估探针针尖磨损效率。在较低的探针悬臂目标振幅比例(10%),较低反馈回路设定值比例(10%),较低扫描速度(1.0Hz)以及适中I-gain(1.7)的测试条件下,探针的磨损最小,可以有效地延长探针的使用寿命。最后利用扫描电镜对比了不同测试条件下探针针尖的形貌,推测了探针针尖在连续测试中磨损与断裂的机理。
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