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在太赫兹频段，基于准光理论与技术构建了3种类型的贝塞尔谐振腔，即稳定贝塞尔-高斯谐振腔、贝塞尔谐振腔、非稳定贝塞尔-高斯谐振腔。为了严格分析腔内的衍射场分布特性，通过边界元素法求解迭代并矢格林函数（IDGF），并利用IDGF算法计算腔内的三维自再现模。分析比较3种类型的贝塞尔谐振腔的零阶模和高阶模特性，给出比较结果。所实现的贝塞尔波束或贝塞尔-高斯波束有望用于准光或太赫兹频段的通信、测量和成像等方面。