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期刊论文
氮化铝陶瓷激光切割工艺技术研究
氮化铝陶瓷激光切割工艺技术研究
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:m109bowen
【摘 要】
:
本研究阐述了氮化铝(AIN)陶瓷激光切割的工作原理,并通过对影响AIN陶瓷激光切割深度的激光功率、频率、脉宽、加工速度以及辅助气压等工艺参数因素进行试验和分析,得出了光纤激
【作 者】
:
郭军
党军杰
李建青
张浩
崔嵩
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十三研究所
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
2017年4期
【关键词】
:
氮化铝
激光
陶瓷加工
切割深度
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本研究阐述了氮化铝(AIN)陶瓷激光切割的工作原理,并通过对影响AIN陶瓷激光切割深度的激光功率、频率、脉宽、加工速度以及辅助气压等工艺参数因素进行试验和分析,得出了光纤激光切割氮化铝陶瓷材料的最优参数范围。
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