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本文叙述了反映砷化镓地导体场效应管接触退化的结构敏感参数的检测技术，并通过实例说明如何根据结构敏感参数的变化对砷化镓金属半导体场效应管进行了失效定位和失效机理分析。
砷化镓金属半导体场效应管接触退化的检测与分析技术
【摘 要】
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本文叙述了反映砷化镓地导体场效应管接触退化的结构敏感参数的检测技术，并通过实例说明如何根据结构敏感参数的变化对砷化镓金属半导体场效应管进行了失效定位和失效机理分析
【机 构】
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电子工业部五所
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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1998年1期
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