【摘 要】
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对三坐标测量机的动态误差作出整体分析。分析影响坐标测量机动态误差的主要因素。指出由于附加惯性力的影响产生的各部件绕气浮导轨联结处的偏转和各运动部件本身的弯曲变形
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院!天津市,300072,天津大学!天津市,300072,新加坡南洋理工大学
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对三坐标测量机的动态误差作出整体分析。分析影响坐标测量机动态误差的主要因素。指出由于附加惯性力的影响产生的各部件绕气浮导轨联结处的偏转和各运动部件本身的弯曲变形是造成动态误差的主要原因。提出由动态偏转角误差推导测头动态位移误差的方法。用激光干涉仪和电感测做仪对三坐标测量机的动态偏转角误差进行了测量。理论和实验结果证明，在高速测量过程中，由于附加惯性力的影响，除了各部件绕气浮导轨联结处产生较大偏转外，某些低刚度运动部件本身也产生了较大的弯曲变形。
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